Ätzverfahren

EP2838112 Art B1 6. April 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2838112
Aktenzeichen: EP14180553
Anmeldetag: 11. August 2014
Veröffentlichung: 6. April 2016
Erteilung: 6. April 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311H01L21/3213H01J37/32H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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