Vorrichtung und Verfahren zur Synchronisierung einer Probentischbewegung mit einer Zeitverzögerungsintegrations-Ladungskopplungsvorrichtung in einem Halbleiterprüfwerkzeug
EP2839505
Art B1
14. August 2019
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2839505
- Aktenzeichen
- EP13777897
- Anmeldetag
- 15. April 2013
- Veröffentlichung
- 14. August 2019
- Erteilung
- 14. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
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16
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-
FRKelly
FRKelly · Dublin