Zusammensetzungen und Verfahren damit für fließfähige Oxidabscheidung

EP2840164 Art A1 25. Februar 2015

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2840164
Aktenzeichen: EP14181693
Anmeldetag: 20. August 2014
Veröffentlichung: 25. Februar 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/452H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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