Prüfvorrichtung und Prüfverfahren
EP2840382
Art B1
23. Oktober 2019
Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., OSAKA UNIVERSITY 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2840382
- Aktenzeichen
- EP14181337
- Anmeldetag
- 19. August 2014
- Veröffentlichung
- 23. Oktober 2019
- Erteilung
- 23. Oktober 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/64
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
OSAKA UNIVERSITY - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SCREEN Holdings
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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🇯🇵
Osaka University
Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.
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