Optische Elemente enthaltend Magnetostriktives Material

EP2841996 Art B1 30. Dezember 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2841996
Aktenzeichen: EP13712509
Anmeldetag: 14. März 2013
Veröffentlichung: 30. Dezember 2020
Erteilung: 30. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/08G02B27/00G02B17/06G21K1/06G02F1/01G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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