Vorrichtung und Verfahren zum Trennen einer Gestapelten Anordnung

EP2842177 Art A1 4. März 2015

Anmelder: Nanyang Technological University 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2842177
Aktenzeichen: EP13782595
Anmeldetag: 17. April 2013
Veröffentlichung: 4. März 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L49/00H01L21/67H01L21/78B32B43/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nanyang Technological University
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Nanyang Technological University

Die Nanyang Technological University ist eine staatliche Forschungsuniversität in Singapur, die in den Bereichen Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologie international hoch angesehen ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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