Vakuumpumpe in der unterschiedliche Module entweder mit unterschiedlichen Drehzahlen betrieben werden können oder von unterschiedlichen Gasströmen durchströmt werden können

EP2843238 Art B1 1. Juni 2022

Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2843238
Aktenzeichen
EP14181310
Anmeldetag
18. August 2014
Veröffentlichung
1. Juni 2022
Erteilung
1. Juni 2022
Rechtsraum
EP
IPC
F04D25/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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