Formulierungen zur Nassätzung von Nipt Während der Silicidherstellung
EP2847364
Art A1
18. März 2015
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2847364
- Aktenzeichen
- EP13787810
- Anmeldetag
- 10. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 18. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/08H01L21/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
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