Schutz von porösen Substraten vor der Behandlung

EP2849212 Art B1 23. Mai 2018

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2849212
Aktenzeichen
EP13184718
Anmeldetag
17. September 2013
Veröffentlichung
23. Mai 2018
Erteilung
23. Mai 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105H01L21/311H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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