Verfahren zur Herstellung von Transistoren und zugehöriges Substrat

EP2849219 Art A1 18. März 2015

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2849219
Aktenzeichen: EP13183985
Anmeldetag: 11. September 2013
Veröffentlichung: 18. März 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/8258H01L21/8238H01L27/092H01L29/66H01L29/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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