Zusammensetzung und Verfahren zum Entfernen von Fotolack von einer Oberfläche mit Titannitrid
EP2850495
Art A1
25. März 2015
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2850495
- Aktenzeichen
- EP13791286
- Anmeldetag
- 17. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 25. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/42G03F7/32H01L21/027B08B3/00C11D3/04C11D3/36H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
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