Zusammensetzung und Verfahren zum Entfernen von Fotolack von einer Oberfläche mit Titannitrid

EP2850495 Art A1 25. März 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2850495
Aktenzeichen
EP13791286
Anmeldetag
17. Mai 2013
Veröffentlichung
25. März 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/42G03F7/32H01L21/027B08B3/00C11D3/04C11D3/36H01L21/311
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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