Saubere Wässrige Lösung mit Geringer Kupferätzgeschwindigkeit für Verbesserte Organische Rückstandsentfernung
EP2850651
Art A2
25. März 2015
Anmelder: ENTEGRIS INC., ATMI Taiwan Co., Ltd., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2850651
- Aktenzeichen
- EP13791242
- Anmeldetag
- 17. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 25. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/302C11D11/00C11D3/00C11D7/08C11D7/26C11D7/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
ATMI Taiwan Co., Ltd.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
ABG Patentes, S.L
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