Verfahren zur Herstellung von Germanid-Interconnectstrukturen

EP2850653 Art B1 16. März 2016

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2850653
Aktenzeichen: EP13722750
Anmeldetag: 14. Mai 2013
Veröffentlichung: 16. März 2016
Erteilung: 16. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L23/532

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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