Verfahren zur Extraktion von Rekombinationsmerkmalen an metallisierten Halbleiteroberflächen

EP2851696 Art B1 20. April 2016

Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2851696
Aktenzeichen
EP13185659
Anmeldetag
24. September 2013
Veröffentlichung
20. April 2016
Erteilung
20. April 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G01R31/26G01N21/64H01L21/66H02S50/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Katholieke Universiteit Leuven
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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