Verfahren zur Extraktion von Rekombinationsmerkmalen an metallisierten Halbleiteroberflächen
EP2851696
Art B1
20. April 2016
Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2851696
- Aktenzeichen
- EP13185659
- Anmeldetag
- 24. September 2013
- Veröffentlichung
- 20. April 2016
- Erteilung
- 20. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R31/26G01N21/64H01L21/66H02S50/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Katholieke Universiteit Leuven - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
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