Laserbetätigte Lichtquelle

EP2851723 Art B1 5. Januar 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2851723
Aktenzeichen: EP14185612
Anmeldetag: 19. September 2014
Veröffentlichung: 5. Januar 2022
Erteilung: 5. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02B6/42H01S3/22H01S3/034

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von