Schichtabscheidung auf III-V-Halbleitern

EP2854158 Art B1 10. Juli 2019

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2854158
Aktenzeichen
EP13186263
Anmeldetag
27. September 2013
Veröffentlichung
10. Juli 2019
Erteilung
10. Juli 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/314
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
IMEC VZW
Land
🇧🇪 Belgien

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Ego, Christophe Boortmeerbeek, Belgien
20
Patente gesamt
8
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik Medizintechnik & Gesundheit Verfahrens- & Trenntechnik Pharma & Biotechnologie
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