Schichtabscheidung auf III-V-Halbleitern
EP2854158
Art B1
10. Juli 2019
Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2854158
- Aktenzeichen
- EP13186263
- Anmeldetag
- 27. September 2013
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2019
- Erteilung
- 10. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/314
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC VZW
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Ego, Christophe
Boortmeerbeek, Belgien
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