Chemische Dampfphasenabscheidung dünner Überzüge unter Verwendung von Metallamidinat Vorläufer
EP2857549
Art A3
15. Juli 2015
Anmelder: President and Fellows of Harvard College 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2857549
- Aktenzeichen
- EP14195851
- Anmeldetag
- 9. April 2008
- Veröffentlichung
- 15. Juli 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/18C07C211/65H01L23/532C23C16/34H01L21/768C23C16/455H01L21/285C23C16/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- President and Fellows of Harvard College
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Harvard University
US-amerikanische Elite-Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts. Harvard betreibt Forschung und Patentierung in zahlreichen Feldern, insbesondere Biotechnologie, Medizin, Life Sciences und Materialwissenschaften.
3.452 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kirkham, Nicholas Andrew
Sevenoaks, Großbritannien
1.132
Patente gesamt
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Fachgebiete
32
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Graham Watt & Co
Graham Watt & Co · Sevenoaks