Verfahren zum Herstellen eines Mikrosystems mit einer Dünnschicht aus Bleizirkonattitanat
EP2859130
Art B1
18. September 2019
Anmelder: Pyreos Ltd. 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2859130
- Aktenzeichen
- EP13728730
- Anmeldetag
- 12. Juni 2013
- Veröffentlichung
- 18. September 2019
- Erteilung
- 18. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/00C23C14/08C23C14/02G01J5/34H01L37/04H01L41/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pyreos Ltd.
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien