Substrat, Bildgebungseinheit und Bildgebungsvorrichtung
EP2866535
Art B1
4. September 2019
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2866535
- Aktenzeichen
- EP13806277
- Anmeldetag
- 13. März 2013
- Veröffentlichung
- 4. September 2019
- Erteilung
- 4. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05K3/46H05K1/05H01L27/146H04N5/225H05K1/02H05K1/03H05K3/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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