Substrat, Bildgebungseinheit und Bildgebungsvorrichtung

EP2866535 Art B1 4. September 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2866535
Aktenzeichen
EP13806277
Anmeldetag
13. März 2013
Veröffentlichung
4. September 2019
Erteilung
4. September 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H05K3/46H05K1/05H01L27/146H04N5/225H05K1/02H05K1/03H05K3/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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