Episubstrate für Wachstum eines selektiven Bereichs von Gruppe-III-Material und Verfahren zur Herstellung eines Gruppe-III-Materials auf einem Siliciumsubstrat
EP2869331
Art A1
6. Mai 2015
Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2869331
- Aktenzeichen
- EP14189000
- Anmeldetag
- 15. Oktober 2014
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02
Abstract
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Anmelder
- Firma
- IMEC VZW
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
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