Verfahren zum Reinigen und Passivieren von Chalcogenidschichten

EP2871683 Art B1 7. Juli 2021

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven, Universiteit Hasselt, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2871683
Aktenzeichen
EP14185635
Anmeldetag
19. September 2014
Veröffentlichung
7. Juli 2021
Erteilung
7. Juli 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/18H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Universiteit Hasselt
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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