Endpunktbestimmung für Fokussierte Ionenstrahlverarbeitung

EP2873088 Art A1 20. Mai 2015

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2873088
Aktenzeichen
EP12881505
Anmeldetag
16. Juli 2012
Veröffentlichung
20. Mai 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317H01L21/265H01J37/30H01J37/304H01J37/305
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

506 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Janssen, Francis-Paul FEI Company · Inhouse Eindhoven, Niederlande
266
Patente gesamt
15
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
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