System mit fokussiertem Ionenstrahl und Verfahren zur Fokussierung des Ionenstrahls

EP2874176 Art B1 6. Juli 2016

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2874176
Aktenzeichen: EP14191939
Anmeldetag: 5. November 2014
Veröffentlichung: 6. Juli 2016
Erteilung: 6. Juli 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/21H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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