Verfahren zur Herstellung einer ferroelektrischen Dünnschicht

EP2876666 Art B1 27. Oktober 2021

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2876666
Aktenzeichen: EP14196902
Anmeldetag: 15. Mai 2012
Veröffentlichung: 27. Oktober 2021
Erteilung: 27. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/316H01L41/08H01L41/319H01L49/02// H01L21/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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