Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP2880495
Art B1
22. Juli 2020
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2880495
- Aktenzeichen
- EP13753085
- Anmeldetag
- 29. Juli 2013
- Veröffentlichung
- 22. Juli 2020
- Erteilung
- 22. Juli 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B26/08G02B19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
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Ostertag & Partner Patentanwälte mbB
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