Verfahren zur Herstellung eines freistehenden Dünnfilms aus nanokristallinem Kohlenstoff

EP2881970 Art A1 10. Juni 2015

Anmelder: FEI COMPANY, Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2881970
Aktenzeichen
EP13195596
Anmeldetag
4. Dezember 2013
Veröffentlichung
10. Juni 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/20C23C16/26H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
FEI COMPANY
Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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