Verfahren zur Strukturierung von Substraten

EP2881977 Art B1 28. August 2019

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2881977
Aktenzeichen
EP14196320
Anmeldetag
4. Dezember 2014
Veröffentlichung
28. August 2019
Erteilung
28. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/32G01N33/543B01L3/00G01N33/487
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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