Verfahren zur Herstellung CMOS-kompatibler Kontaktschichten in Halbleitervorrichtungen
EP2881982
Art B1
4. September 2019
Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2881982
- Aktenzeichen
- EP14189155
- Anmeldetag
- 16. Oktober 2014
- Veröffentlichung
- 4. September 2019
- Erteilung
- 4. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/8252H01L21/3205H01L21/3213H01L29/45H01L21/324H01L33/32H01L33/40H01L29/20H01L29/207
Abstract
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Anmelder
- Firma
- IMEC VZW
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Clerix, André
Leuven, Belgien
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