Laserunterstützte Plasmalampe mit Wasser

EP2883244 Art B1 23. August 2017

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2883244
Aktenzeichen: EP13828155
Anmeldetag: 20. Mai 2013
Veröffentlichung: 23. August 2017
Erteilung: 23. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66H01J65/04H01J61/12H01J61/28H01J61/54// H01J61/16H01J61/30H01J61/52

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland

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Fachgebiete

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Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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