Halbleiterstruktur mit Germanium-Oxid-Haltigem Film auf einer Germaniumschicht und Herstellungsverfahren dafür

EP2889897 Art A1 1. Juli 2015

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2889897
Aktenzeichen
EP13830424
Anmeldetag
18. April 2013
Veröffentlichung
1. Juli 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/336H01L29/78H01L21/28H01L29/51
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Japan Science and Technology Agency
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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