Verfahren und Vorrichtung zur Verminderung der Thermischen Spannung durch Regulierung und Kontrolle von Lampenbetriebstemperaturen
EP2890930
Art B1
8. November 2017
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2890930
- Aktenzeichen
- EP13832549
- Anmeldetag
- 28. August 2013
- Veröffentlichung
- 8. November 2017
- Erteilung
- 8. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F21V29/503F21V29/60// F21V19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
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Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin