System und Verfahren für eine Pumpe mit reduziertem Formfaktor

EP2894332 Art B1 17. August 2016

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2894332
Aktenzeichen
EP14192045
Anmeldetag
20. November 2006
Veröffentlichung
17. August 2016
Erteilung
17. August 2016
Rechtsraum
EP
IPC
F04B23/06F04B13/00F04B53/06F04B53/16F04B53/22F04B43/04F04B49/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von

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