Ionenimplantationsvorrichtung

EP2899293 Art B1 14. November 2018

Anmelder: LINTEC Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2899293
Aktenzeichen: EP13839032
Anmeldetag: 12. September 2013
Veröffentlichung: 14. November 2018
Erteilung: 14. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/48H05H1/46H01J37/32C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LINTEC Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Lintec

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Klebstoffe, Klebebänder und Spezialfolien für Elektronik, Verpackung und industrielle Anwendungen.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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