Oberflächenentschichtung mit programmiertem Manipulator

EP2902845 Art B1 15. April 2020

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2902845
Aktenzeichen
EP15152977
Anmeldetag
29. Januar 2015
Veröffentlichung
15. April 2020
Erteilung
15. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/72G03F1/84G03F7/20G03F1/00G01N1/28G01N1/06H01L21/304H01L21/66B28D5/04B26D3/28
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Janssen, Francis-Paul FEI Company · Inhouse Eindhoven, Niederlande
266
Patente gesamt
15
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
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