Verfahren und Anordnung zum Regulieren der Verkippung eines Spiegelelements

EP2904444 Art B1 2. März 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2904444
Aktenzeichen: EP13774139
Anmeldetag: 7. Oktober 2013
Veröffentlichung: 2. März 2022
Erteilung: 2. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08G01D5/241

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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