Verfahren und System zur Verringerung des Curtaining-Effekts in einem Probenpräparat aus Geladenen Teilchenstrahlen
EP2904632
Art A1
12. August 2015
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2904632
- Aktenzeichen
- EP13843083
- Anmeldetag
- 7. Oktober 2013
- Veröffentlichung
- 12. August 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01N1/28G01N1/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte