Betätigungsmechanismus, Optische Vorrichtung, Lithografievorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen

EP2906994 Art B1 25. März 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2906994
Aktenzeichen
EP13770854
Anmeldetag
17. September 2013
Veröffentlichung
25. März 2020
Erteilung
25. März 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B7/182G02B26/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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