Uv-Lichtquelle mit Kombinierter Ionisation und Bildung von Excimern

EP2909856 Art B1 21. Februar 2018

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., SICO Technology GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2909856
Aktenzeichen: EP13785385
Anmeldetag: 18. Oktober 2013
Veröffentlichung: 21. Februar 2018
Erteilung: 21. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J61/94C02F1/32H01J65/04// H01J61/16H01J61/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
SICO Technology GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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