Verfahren zur Untersuchung einer Probe in einem Ladungsträger-Mikroskop

EP2911180 Art A1 26. August 2015

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2911180
Aktenzeichen
EP14156356
Anmeldetag
24. Februar 2014
Veröffentlichung
26. August 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/244H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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