Positive Lichtempfindliche Harzzusammensetzung, Verfahren zur Herstellung von Polyimidharzmustern und Gemusterter Polyimidharzfilm

EP2913714 Art B1 9. Dezember 2020

Anmelder: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2913714
Aktenzeichen: EP13848508
Anmeldetag: 25. Oktober 2013
Veröffentlichung: 9. Dezember 2020
Erteilung: 9. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039G03F7/004H01L21/027G03F7/20G03F7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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