Euv-Lichtquelle zur Erzeugung eines Verwendbaren Ausgangsstrahls für eine Projektionsbelichtungsvorrichtung

EP2915007 Art B1 8. Mai 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2915007
Aktenzeichen: EP13779605
Anmeldetag: 22. Oktober 2013
Veröffentlichung: 8. Mai 2019
Erteilung: 8. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B27/28G21K1/06H05H7/04G21K1/16H01J35/00H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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