Sputtertarget mit Optimierten Gebrauchseigenschaften

EP2920338 Art A1 23. September 2015

Anmelder: Materion Advanced Materials Germany GmbH, Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2920338
Aktenzeichen: EP13794826
Anmeldetag: 25. Oktober 2013
Veröffentlichung: 23. September 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/08C23C14/34H01J37/34C03C17/245

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Materion Advanced Materials Germany GmbH
Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Heraeus Deutschland

Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Hanau. Heraeus entwickelt Materialien und Lösungen in den Bereichen Edelmetalle, Sensorik, Medizintechnik und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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