Positionsmesssystem und Gitter für ein Positionsmesssystem
EP2920649
Art B1
29. März 2023
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2920649
- Aktenzeichen
- EP13789292
- Anmeldetag
- 8. November 2013
- Veröffentlichung
- 29. März 2023
- Erteilung
- 29. März 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00G03F7/20G01D5/38G01D5/347G02B5/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Ras, Michael Adrianus Josephus
Veldhoven, Niederlande
15
Patente gesamt
4
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven