Verfahren zur Periodischen Beschichtung und Vorrichtung zur Periodischen Beschichtung

EP2922126 Art B1 28. Juni 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2922126
Aktenzeichen: EP15158552
Anmeldetag: 11. März 2015
Veröffentlichung: 28. Juni 2017
Erteilung: 28. Juni 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01M4/88B05D1/26B05C5/02// H01M8/1018

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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