Probenhalter, Vorrichtung für Geladene Teilchenstrahlen und Probenbeobachtungsverfahren

EP2924706 Art B1 25. März 2020

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation, Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2924706
Aktenzeichen: EP13857331
Anmeldetag: 26. November 2013
Veröffentlichung: 25. März 2020
Erteilung: 25. März 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/16H01J37/18H01J37/22H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Tech Corporation
Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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