Station und Verfahren zur Messung der Partikelkontamination eines Transportkammer zum Fördern und Atmosphärischen Lagern von Halbleitersubstraten
EP2926370
Art B1
12. Juli 2017
Anmelder: Pfeiffer Vacuum, Adixen Vacuum Products 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2926370
- Aktenzeichen
- EP13817657
- Anmeldetag
- 29. November 2013
- Veröffentlichung
- 12. Juli 2017
- Erteilung
- 12. Juli 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673G01N15/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Pfeiffer Vacuum
Adixen Vacuum Products - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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Kanzlei
Innovincia
Thonon-les-Bains, Frankreich
Innovincia wurde 2006 von Thomas Croonenbroek in Thonon-les-Bains gegründet, seit 2020 Teil der Kanzleigruppe LLR mit zweitem Büro in Annecy. Begleitet Mandanten von der Anmeldung bis zur Durchsetzung in Europa, den USA und Asien, mit Freedom-to-Operate-Analysen und Portfoliobewertungen.
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