Qualitätsbewertung eines Gerichteten Selbstanordnungsverfahrens
EP2927747
Art A3
9. März 2016
Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2927747
- Aktenzeichen
- EP15159169
- Anmeldetag
- 16. März 2015
- Veröffentlichung
- 9. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇧🇪
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Fachgebiete
Vertreten von
Clerix, André
Leuven, Belgien
89
Patente gesamt
13
Fachgebiete
2
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Schwerpunkte
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-
Patent Department IMEC
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