Zustandsüberwachungssystem, Zustandsüberwachungsverfahren und Zustandsüberwachungsprogramm

EP2930579 Art A3 22. Juni 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2930579
Aktenzeichen
EP15000910
Anmeldetag
27. März 2015
Veröffentlichung
22. Juni 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G05B23/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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