Vakuumpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2933496

Aktenzeichen

EP15159509

Anmeldetag

17. März 2015

Veröffentlichung

21. November 2018

Erteilung

21. November 2018

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F16C32/04F04D29/058B23K20/06// F16C35/00

Abstract

Eine Vakuumpumpe (10), insbesondere Turbomolekularpumpe, oder eine Rotationseinheit (24) für eine Vakuumpumpe umfasst einen Rotor (14), einen Stator (140) und ein Magnetlager (42), wobei das Magnetlager (42) einen am Rotor (14) angeordneten rotorseitigen Lagerteil (44) und einen am Stator (140) angeordneten statorseitigen Lagerteil (46) aufweist, wobei der rotorseitige Lagerteil und der statorseitige Lagerteil einander gegenüberliegende Seitenflächen (60,62) aufweisen, wobei eine gasdichte Kapselung (66) für den rotorseitigen Lagerteil (44) vorgesehen ist, die eine rotorseitige Schutzwand (74) umfasst, die die Seitenfläche (60) des rotorseitigen Lagerteils abdeckt und/oder wobei eine gasdichte Kapselung (68) für den statorseitigen Lagerteil (46) vorgesehen ist, die eine statorseitige Schutzwand (104) umfasst, die die Seitenfläche (62) des statorseitigen Lagerteils (46) abdeckt, wobei die rotorseitige Schutzwand (74) mit dem Rotor (14) gasdicht verschweißt ist und/oder die statorseitige Schutzwand (104) mit dem Stator (140) gasdicht verschweißt ist.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete