Elektrodenbeschichtung für Elektronenemissionsvorrichtungen in Hohlräumen

EP2937887 Art B8 7. Dezember 2016

Anmelder: Nexperia B.V., NXP B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2937887
Aktenzeichen
EP15161025
Anmeldetag
26. März 2015
Veröffentlichung
7. Dezember 2016
Erteilung
7. Dezember 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J1/304H01J1/308H01J9/24H01J19/24H01J19/54H01J21/04
Offizieller Volltext

Abstract

Embodiments of a method for forming a field emission diode for an electrostatic discharge device include forming a first electrode, a sacrificial layer, and a second electrode. The sacrificial layer separates the first and second electrodes. The method further includes forming a cavity between the first and second electrode by removing the sacrificial layer. The cavity separates the first and second electrodes. The method further includes depositing an electron emission material on at least one of the first and second electrodes through at least one access hole after formation of the first and second electrodes. The access hole is located remotely from a location of electron emission on the first and second electrode.

Anmelder

Firmen
Nexperia B.V.
NXP B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 Nexperia

Der Anmelder ist ein niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Nijmegen, der als Ausgründung aus NXP Semiconductors hervorging. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Halbleiter- und Elektrobauelemente, ergänzt durch Elektronik, Schaltungstechnik und elektrische Energietechnik. Anmeldungen laufen seit 2009 durchgehend fort.

458 Patente in unserer Datenbank

🇳🇱 NXP Semiconductors

Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.

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